Característiques:

1) La velocitat de nitruració és més ràpida, el cicle de nitruració es pot escurçar adequadament i el temps de nitruració iònica es pot escurçar a 1/3-2/3 del temps de nitruració del gas.

2) La fragilitat de la capa de nitruració és petita, i la capa blanca formada a la superfície de la nitruració per plasma és molt fina, o fins i tot nul·la. A més, la deformació causada per la capa de nitruració és petita, cosa que és especialment adequada per a peces de precisió amb formes complexes.

3) Es pot estalviar consum d'energia i amoníac. El consum d'energia elèctrica és d'1/2-1/5 de la nitruració de gas i el consum d'amoníac és d'1/5-1/20 de la nitruració de gas.

4) És fàcil de realitzar la nitruració local, sempre que la part que no vol nitruració no produeixi resplendor, la part no nitruració sigui fàcil de protegir i la resplendor es pugui protegir mitjançant un blindatge mecànic i una placa de ferro.

5) El bombardeig iònic pot purificar la superfície i eliminar la pel·lícula de passivació automàticament. L'acer inoxidable i l'acer resistent a la calor es poden nitrurar directament sense eliminar prèviament la pel·lícula de passivació.

6) L'estructura de la capa composta, el gruix de la capa d'infiltració i l'estructura es poden controlar.

7) El rang de temperatures de tractament és ampli i es pot obtenir un cert gruix de capa de nitruració fins i tot per sota dels 350 C.

8) S'han millorat les condicions laborals. El tractament de nitruració per plasma i sense contaminació es duu a terme a molt baixa pressió amb molt pocs gasos d'escapament. La font de gas és nitrogen, hidrogen i amoníac, i bàsicament no es produeixen substàncies nocives.

9) Es pot aplicar a tot tipus de materials, incloent-hi acer inoxidable, acer resistent a la calor amb alta temperatura de nitruració, acer per a eines i peces de precisió amb baixa temperatura de nitruració, mentre que la nitruració a baixa temperatura és força difícil per a la nitruració amb gas.